該氣相沉積設(shè)備主要用于關(guān)鍵器件表面涂層的制備,而溫度是影響氣相沉積涂層質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù),目前常規(guī)氣相沉積設(shè)備的使用溫度最高只有2000℃,本項目開發(fā)的氣相沉積設(shè)備使用溫度可達(dá)到2500℃,將會大大改善氣相沉積涂層..
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