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2500℃燒結(jié)爐

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  • 化學(xué)氣相沉積爐
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化學(xué)氣相沉積爐

臥式化學(xué)氣相沉積爐主要用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理高溫氣相沉積設(shè)備主要用于關(guān)鍵器件表面涂層的制備,而溫度是影響氣相沉積涂層質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù),目前常規(guī)氣相沉積設(shè)備的使用溫度最高只有2000℃,本項(xiàng)目開發(fā)的氣相沉積設(shè)備使用溫度可達(dá)到2500℃

產(chǎn)品介紹

  • 臥式化學(xué)氣相沉積爐主要用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理

    高溫氣相沉積設(shè)備主要用于關(guān)鍵器件表面涂層的制備,而溫度是影響氣相沉積涂層質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù),目前常規(guī)氣相沉積設(shè)備的使用溫度最高只有2000℃,本項(xiàng)目開發(fā)的氣相沉積設(shè)備使用溫度可達(dá)到2500℃



    型號

    功率

    溫度

    Φ300*600

    100KW

    2500

    Φ500*1000

    200KW

    2500

    Φ800*2000

    400KW

    2500

    Φ1500*2500

    1000KW

    2500

     


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